OHT(空中走行式搬运车)是指能够在空中轨道上行驶，并能够通过皮带传动起重机构“直接”进入保管设备或工艺设备的装卸口，应用于工序区内部运输，主要搬运晶圆，也应用于工序区间或工厂间运输。
| 产品范围 | FOUP, FOSB, Megazine, Tray, Cassette |
| 额定负载 | Max20Kg |
| 运行速度 | 直线段 3.5m/sec, 转弯段 0.7m/sec |
| 提升速度 | 0.9m/sec |
| 转弯半径 | R500mm (45˚, 90 ˚) |
| 洁净环境 | Class 100 - Class 1000 |
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